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D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器

簡要描述:

D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器
★高性能價格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★管狀分流,使用壽命長

D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器

 

特點:

★高性能價格比、普通型產(chǎn)品 
★橡膠密封、模擬電路的MFC 
★管狀分流,使用壽命長

D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器介紹:

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

 

,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號D07-19F
產(chǎn)品類型抗電磁干擾
流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產(chǎn)品精度±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)
重復(fù)精度±0.2% FS
線性±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)
響應(yīng)時間≤4sec
工作溫度范圍(5~45)°C
耐壓3MPa
密封材料氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號(1~5)VDC,(4~20)mA
電源24V
閥類型常閉
溫度系數(shù)- 無 -
零點飄移指標(biāo)- 無 -
電氣連接D sub 15 pins Male
工作壓差范圍(0.1~0.3) MPa (10slm<F.S.),(0.1~0.5) MPa (F.S.≤10slm)
漏率1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學(xué)成分- 無 -
表面粗糙度- 無 -
抗電磁干擾CE
重量1.2Kg

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